温度传感器的应用

在微电子器件，针对SiC器件的研究较多，已经取得了较大进展，而在MEMS针对SiC器件的研究仍有许多问题亟待解决。在国内，SiCMEMS的研究非常少，因而进行SiC高温MEMS压力传感器的研究具有开创意义。碳化硅(SiC)具有优良的，，抗辐射性能，因而使用SiC来制作压力传感器，能够克服Si器件高温下电学、机械、化学性能下降的缺陷，稳定工作于高温环境，具有光明的应用前景。

用放置在腔体内的温度传感器测量恒温箱内的温度，产生的信号经过放大后输出反馈信号，再用单片机进行采样，由液晶显示恒温箱内的温度，并通过温度控制算法控制加热装置。所使用的单片机为STCl25408AD，自带A/D转换、EPROM功能，内部集成MAX810复位电路(外部晶振20MHz以下时，可省外部复位电路)，ISP(在系统可编程)/IAP(在应用可编程)，无需编程器可通过串口(P3.0/P3.1)直接下载用户程序，数秒即可完成一片。

我们都知道现在的电子衡器之所以能比较的测量出重物的重量，就是由于其配备了压力传感器的作用。但是我们在使用的过程中往往遇到高温或是低温，这些都影响到了衡器的准确度，因此就需要为衡器设计一个温控系统，说简单点就是加装一个温度传感器，温度过低时就升温，温度过高时就降温，从而衡器的准确度。